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你家的果冻传媒91制片长白斑了吗?

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你家的果冻传媒91制片长白斑了吗?

发布日期:2018-06-05 00:00 来源:http://www.desunpv.com 点击:

  -,有对于表面白斑-金刚线切割制绒白斑成因分析及改善建议

 &苍产蝉辫;。它是利用电镀或树脂粘结的方法将金刚石磨料固结在钢线表面,将金刚线直接作用于硅棒或硅锭表面产生磨削,达到切割的效果。金刚线切割具有切割速度快,切割精度高,材料损耗低等特点。

  目前单晶市场上对金刚线切割硅片已经完全接受,但在推进过程中也遇到过,其中制绒发白是常见的问题。针对此,重点分析了如何预防金刚线切割单晶硅片制绒发白的问题。

  ,将胶条去除后,将硅片清洗干净。清洗设备主要是预清洗机(脱胶机)和清洗机。预清洗机的主要清洗流程为:上料-喷淋-喷淋-超声清洗-脱胶-清水漂洗-下料。清洗机的主要清洗流程为:上料-纯水漂洗-纯水漂洗-碱洗-碱洗-纯水漂洗-纯水漂洗-预脱水(慢提拉)-烘干-下料。

  2单晶制绒的原理

  单晶硅片制绒是利用碱液对单晶硅片进行各向异性腐蚀的特点来制备绒面。反应原理如下化学反应方程式

  

  从本质上讲,(100)面的腐蚀速度比(111)面大十倍以上,所以(100)晶向的单晶硅片经各向异性腐蚀后,终在表面形成许许多多表面为(111)的四面方锥体,即&辩耻辞迟;金字塔&辩耻辞迟;结构(如图1)。此结构形成后,当光入射到一定角度的金字塔斜面,光会反射到另一角度的斜面,形成二次或更多次吸收,从而减少硅片表面的反射率,即陷光效应(如图2)。&辩耻辞迟;金字塔&辩耻辞迟;结构的大小与均匀性越好,陷光效应越明显,硅片表面发射率越低。

  


  图1:单晶硅片碱制绒后的显微形貌

  


  

  

  对制绒发白的硅片进行了扫描电镜的检测,发现制绒发白的区域其制绒后的金字塔微结构基本没有形成,表面似乎有一层&辩耻辞迟;蜡状&辩耻辞迟;的残留物,而同一张硅片未出现发白区域的绒面的金字塔结构形成较好。如果单晶硅片表面局部区域有残留物,会造硅片表面有残留区域&辩耻辞迟;金字塔&辩耻辞迟;结构大小和均匀性生成与效果较正常区域有不足,从而造成有残留区域制绒表面反射率较正常区域高,反射率高的区域对比正常区域在视觉上体现为发白。从发白的区域分布形状可以看出,其并不是有规律或者规则的形状大面积出现的,而只是局部区域出现的,应该是硅片表面局部的污染物没有被清洗干净,或者硅片表面局面被二次污染导致的。

    ,欢迎继续关注厂家-。

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