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。该方法以sicl4、H2、 HCI和工业硅为原料,在高温高压流化床内(沸腾床)生成SiH2Cl2,再将SiHCL3,进一步歧化加氢反应生成SiH2CL2继而生成硅烷气。制得的硅烷气通人加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应,,所以该方法生产效率高、电耗低、成本低。该方法的缺点是安全性差,存在危险性,另外产物的纯度不高,不过基本能满足太阳电池生产的要求。因此,。
目前,。特别是搁贰颁公司,它以硅烷气为原料,利用流化床反应器用闭环绿色工艺制备颗粒状多晶硅,纯度甚至接近电子级硅,而且基本不产生副产物和废弃物,。
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