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不论是,其成型后都要按照一定的尺寸进行切割,切割后的硅片表面会留下一些污染的杂质,大致有油脂松香蜡等有机物质,金属、各种无机化合物,以及灰尘和其他可溶性物质。通常使用化学清洗剂来去除这些污染物,常用的有有机溶剂。每次清洗后都要用高纯去离子水将硅片冲洗干净。
,要进行表面腐蚀。这是由于机械切割后,,需要通过表面腐蚀来消除。通常使用的腐蚀方法有以下两类。
,硝酸的作用是使硅氧化为二氧化硅,而氢氟酸可使在在硅表面形成的二氧化硅不断溶解,保持反应持续进行。通过调整硝酸、氢氟酸的比例和溶液的温度,可以控制腐体的速度。
硅可与氯氧化纳、氯氧化钾等做性溶液起作用,生成硅酸盐并放出氢气,其化学反应式为
,但制成的电池性能相同。碱性腐蚀的成本比较低,对于环境的污染较小,所以目前名采用城性腐蚀方法。
通过表面腐蚀后,。影响腐蚀效果的主要因索是腐蚀液的浓度和温度。
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