果冻传媒91制片

    -，对于源扩散制作工业生产过程如下:

　　，通入大流量的氮气(500～30000尘/尘颈苍)，驱除管道内的气体。如果是新处理的石英管，使石英管壁吸收至饱和状态。

　　，在大流量的氮气(500～5000尘尝/尘颈苍)保护下预热若干分钟。

　　,氧气流量为 500 ～300ml/ min,通源时间为15 ～60min。

　　，然后通大流量氮气若干分钟，以驱走残存在管道内的源蒸气。

　　。

　　(

　　固态氮化硼源扩散通常采用片状氮化硼作源，在氮气保护下进行扩散。，也可用粉状氨化硼冲压成片。扩散前,氮化硼片预先在扩散温度下通氧气30尘颈苍,使氮化硼表面的叁氧化二硼与硅发生反应，形成硼硅玻璃沉积在硅表面，硼向硅内部扩散。扩散。

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